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绿电新政下市场新机遇与挑战
发布时间:2025-07-05 12:23:29  来源:精英机械设备有限公司

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单晶的纯净度决定了圆晶以及成品芯片的良率,新政下市尺寸决定了一个圆晶上所能加工的芯片数量。场新大多数商用单晶金刚石衬底都是通过高压高温(HPHT)方法或化学气相沉积(CVD)来生长的。

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根据金刚石的碳原子(共价半径0.077nm)在元素周期表中的位置来选择,机遇离的最近的是氮原子(0.075nm),这使其也成为金刚石n型掺杂的有利候补。由于缺少合适的施主杂质,绿电金刚石的高效n型掺杂仍是世界性科学难题。但硼室温下激活效率小于0.1%,新政下市而且硼在金刚石中的掺杂浓度和迁移率是此消彼长的关系,新政下市过大的掺杂浓度往往导致迁移率的迅速下降,电导率达到1Ω/cm需要硼掺杂浓度达到1019 cm-3时,但此时迁移率将降低到100cm2/Vs以下[4]。

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